真空镀膜电源之HIPIMS电源介绍

视频简介

HIPIMS电源属于高功率脉冲磁控溅射电源的一种，通过降低占空比到10%，在相同功率情况下，可以使得磁控溅射峰值电流大幅度的增加，HIPIMS电源可调参数多，即使在相同占空比下，针对不同靶材，其脉冲宽度，占空比，靶电压与峰值电流都会出现不同的特性，想了解更多关于HIPIMS电源，记得点赞关注哦！